Halbleiterindustrie

Halbleiterindustrie

Kunststofflösungen für die Halbleiterindustrie

Reinheit, Sicherheit und Beständigkeit – unsere Kunststoffhalbzeuge und Rohrleitungssysteme erfüllen die hohen Anforderungen der modernen Chipproduktion. Dabei setzen wir auf die bewährte Qualität und Innovationskraft führender Hersteller wie AGRU, Georg Fischer, SIMONA und RÖCHLING.

Die Halbleiterproduktion stellt höchste Anforderungen an Materialien und Prozesse. Reinheit, Chemikalienbeständigkeit und Prozesssicherheit sind entscheidend, um modernste Mikrochips zuverlässig fertigen zu können.

Unsere Kunststoffhalbzeuge und Rohrleitungssysteme sind speziell auf diese Anforderungen zugeschnitten. Sie kommen im Kabinettbau, in der Reinstwasser- und Chemieversorgung sowie in Hook-Ups, Modulen und Abluftsystemen zum Einsatz – überall dort, wo Präzision und Sicherheit unverzichtbar sind.

Mit einem breiten Sortiment, langjähriger Erfahrung und passgenauem Service unterstützen wir Sie beim Bau und Betrieb von Halbleiteranlagen.

Anwendungsbereiche

Unsere Kunststoffe im Überblick

Abgase- & Abluftsysteme

Korrosionsfreie Rohre und Formteile
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Kabinettbau & Anlagenstrukturen

Platten, Stäbe und Profile aus hochwertigen Kunststoffen
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Hook-Ups & Module im Frontend-Bereich

Dichte und reine Verbindungssysteme
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Reinstwasser- & Chemieversorgung

Rohrleitungen, Fittings und Ventile aus PP, PVDF, PFA
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Vorteile für die Halbleiterindustrie

Ob Halbzeuge für den Kabinettbau oder Rohrleitungssysteme für UPW, Chemikalien und Abgase – wir liefern die passenden Komponenten für Ihre Anwendungen in der Halbleiterfertigung.

Abgas- und Abluftsysteme

Bei der Halbleiterfertigung entstehen aggressive Abgase, die zuverlässig abgeführt werden müssen. Unsere Kunststofflösungen sind dafür bestens geeignet.

  • Korrosionsfreie Rohre und Formteile

  • Hohe chemische Beständigkeit auch bei aggressiven Medien

  • Langlebig, leicht und montagefreundlich

  • gemäß Norm / Richtlinie FM4922 und FM4910

Sichere Abluftsysteme, die den Betrieb nachhaltig schützen.

  • FM 4922 – Approval-Standard für Fume Exhaust Ducts (Begrenzung von Flammen-/Rauchausbreitung, Einsatz in Cleanrooms).

  • FM 4910 – Für eingesetzte Cleanroom-Baumaterialien im Umfeld (Brand-/Rauchverhalten); erhältlich.

  • IEC 61340-5-1 – ESD-Kontrollprogramm; relevant bei ableitfähigen Werkstoffen.

Kabinettbau & Anlagenstrukturen

Stabile und reinraumtaugliche Kabinette sind die Grundlage für sichere Prozesse in der Halbleiterfertigung.

  • Platten, Stäbe und Profile aus hochwertigen Kunststoffen

  • Korrosionsfrei und leicht zu reinigen

  • Geeignet für Reinräume und sensible Umgebungen

  • gemäß Norm / Richtlinie FM4910 und ISO 14644-1

Langlebige und saubere Konstruktionen, die den hohen Anforderungen an Materialreinheit gerecht werden.

  • FM 4910 – Flammen- und Rauchentwicklung für Cleanroom-Materialien (Qualitätsmerkmal für reinraumtaugliche Werkstoffe, z. B. PP, PVC, CPVC, PVDF in FM-4910-Varianten).

  • ISO 14644-1 – Klassifizierung der Luftreinheit in Reinräumen (ISO-Klassen 4–7).

  • IEC 61340-5-1 / ANSI/ESD S20.20 – Vorgaben für elektrostatisch geschützte Bereiche (EPA); relevant bei ableitfähigen/ESD-geeigneten Kunststoffvarianten.

Kurz erklärt – FM 4910:
FM 4910 ist ein Cleanroom-Standard von FM Global für die Brand- und Rauchentwicklung von Materialien in Reinräumen. Materialien mit FM-4910-Konformität reduzieren Flammenausbreitung und Rauchdichte – wichtig, um Kontaminationen in der Chipfertigung zu vermeiden.

Hook-Ups & Module im Frontend-Bereich

Die Anbindung von Prozessanlagen erfordert flexible, dichte und reine Verbindungssysteme.

  • Anschlusslösungen für Module, Subfab und Prozesszellen

  • Totraumarme Verschraubungen und Schläuche

  • Passgenaue Komponenten für kundenspezifische Designs

  • gemäß Norm / Richtlinie SEMI F57 (UHP) und SEMI S2 (Halbleiter-Equipment)

Sichere und effiziente Hook-Ups, die Ausfallzeiten reduzieren und den Reinheitsstandard einhalten.

  • SEMI F57 – UHP-Komponenten wie PFA-Schläuche, PVDF-Fittings und UHP-Ventile.

  • SEMI S2 – EHS-Guideline für Halbleiter-Equipment.

  • IEC 61340-5-1 – ESD-Kontrollprogramm, falls ableitfähige/ESD-kontrollierte Hook-Ups benötigt werden.

Reinstwasser- und Chemieversorgung

Reinstwasser (UPW) und Prozesschemikalien müssen ohne Kontamination transportiert werden. Unsere Rohrleitungssysteme sorgen dafür, dass Qualität und Reinheit jederzeit gewährleistet sind.

  • Rohrleitungen, Fittings und Ventile aus PP, PVDF, PFA u.a.

  • Höchste Beständigkeit gegen aggressive Chemikalien

  • Geringe Partikel- und Ionenabgabe

  • gemäß Norm / Richtlinie SEMI F57 (UHP) und ISO 10931

Maximale Reinheit und Prozesssicherheit für kritische Medien.

  • SEMI F57 – Spezifikation für Ultra High Purity (UHP)-Polymerwerkstoffe in UPW-/Chemikalien-Verteilungen.

  • ISO 10931 – PVDF-Rohrleitungssysteme für industrielle Anwendungen.

  • ISO 15494 – Thermoplast-Rohrleitungssysteme für industrielle Anwendungen (z. B. PP, PB, PE).

  • ASTM F2618 – CPVC-Rohr/Fittings für chemische Abwässer.

  • SEMI F18 – Leitfaden zur Dimensionierung von Thermoplast-Rohrleitungen.

Hinweis: Für UPW/Chemie empfehlen wir UHP-Kunststoffe wie PFA und PVDF-HP gemäß SEMI F57; PVDF-Systeme nach ISO 10931 sind der Industriestandard.

Unsere Premiumlieferanten

agru
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